第45章 第七次测试成功变数(第2页)
“成了!
终于成了,一年多的时间,七次测试,太不容易了。”
“DYN-离子束抛光技术成了,能做EUV光刻机光学镜头了,我们将冲击光学镜头高端市场,击败所有对手,一统……”
“一年工资的奖金,半个月的假期,想想就兴奋。”
……
研究人员见到苏哲和范晓明进来,鼓掌声更响了。
包正义见到苏哲,连忙迎了上来,大声说:“谢谢!
太谢谢了!
没有你提供的DYN-离子束抛光技术,我们还不知道要进行多少轮测试。”
“太客气了!
包教授,第二组检测结果如何?”
苏哲看着一脸激动的包正义问。
“好!
非常好!
和第一组差不多,镜面达到0.09纳米的面型精度峰谷值和19皮米的表面粗糙度。”
包正义指着他工位上的显示屏,“这样的精度还是因为我们仓促测试的结果,等设备定型了,精度还会更高。”
苏哲看了看显示屏上两组光学镜头镜片的镜面检测结果,如同范晓明和包正义说的那样,虽说没有达到理论值,但比蔡斯加工的精度高。
这样的加工精度完全满足EUV光刻机光学镜头的需要,国内芯片制程工艺能全面突破了。
他也能拿到提前预支的那一千万了,就是不知协议啥时候签?
正想这些的时候,耳边传来包正义的喊声。
“晓明!
赶紧发邀请函,让那三十三家明天来参加技术报告会,对了!
通知公正人员和法务,DYN-离子束抛光技术验证成功,协议就该签了。”
范晓明点头,掏出手机,一顿操作后笑着说:“好了!
三十三家邀请函都发了,公正人员和法务将会在下午一点来研究中心。”
……
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