第9章 离子束抛光拿它七八个诺奖(第2页)
刚洗漱完,范晓明回来了,两人刚好在客厅碰上。
“小哲!
你怎么搞这么晚,不要告诉我你是被自修室的广播赶回来的。”
范晓明放下电脑包,从电脑包中掏出笔记本电脑。
“是的!”
苏哲点头回答。
“那个,书可以回宿舍看,反正没人打扰你。”
范晓明打开笔记本电脑。
“自修室有免费的空调,我也喜欢自修室的气氛。”
苏哲来到范晓明旁边,看着笔记本电脑屏幕。
屏幕是快速刷新的数据,看不太懂。
“那倒是!”
范晓明起身给自己倒了一杯茶。
苏哲见范晓明端着茶坐到沙发上,他指着笔记本电脑屏幕问:“晓明哥!
你这是在干啥?”
“分析数据!”
范晓明喝了一口热茶,解释说,“我跟着我导师研究EUV光刻机光学镜头的事你是知道的,这光学镜头的制造是非常麻烦的,光学镜头的物质组成暂且就不说了,就说说光学镜头的镜面加工,其中……”
范晓明讲得很仔细,苏哲听的很认真。
目前,给制造EUV光刻机制造商B**L提供光学镜头的是欧罗巴的公司蔡斯。
蔡斯公司加工光刻机镜头用了精密机床铣磨,后续经过小磨头抛光、磁流变抛光和离子束抛光达到0.12纳米的面型精度峰谷值和20皮米的表面粗糙度。
……
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