第9章 离子束抛光拿它七八个诺奖（第2页）

刚洗漱完，范晓明回来了，两人刚好在客厅碰上。

“小哲！

你怎么搞这么晚，不要告诉我你是被自修室的广播赶回来的。”

范晓明放下电脑包，从电脑包中掏出笔记本电脑。

“是的！”

苏哲点头回答。

“那个，书可以回宿舍看，反正没人打扰你。”

范晓明打开笔记本电脑。

“自修室有免费的空调，我也喜欢自修室的气氛。”

苏哲来到范晓明旁边，看着笔记本电脑屏幕。

屏幕是快速刷新的数据，看不太懂。

“那倒是!”

范晓明起身给自己倒了一杯茶。

苏哲见范晓明端着茶坐到沙发上，他指着笔记本电脑屏幕问：“晓明哥！

你这是在干啥？”

“分析数据！”

范晓明喝了一口热茶，解释说，“我跟着我导师研究EUV光刻机光学镜头的事你是知道的，这光学镜头的制造是非常麻烦的，光学镜头的物质组成暂且就不说了，就说说光学镜头的镜面加工，其中……”

范晓明讲得很仔细，苏哲听的很认真。

目前，给制造EUV光刻机制造商B**L提供光学镜头的是欧罗巴的公司蔡斯。

蔡斯公司加工光刻机镜头用了精密机床铣磨，后续经过小磨头抛光、磁流变抛光和离子束抛光达到0.12纳米的面型精度峰谷值和20皮米的表面粗糙度。

……

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